tin tức công ty về Hộp lọc bùn CMP cho sản xuất chất bán dẫn

Một hộp mài lọc bùn CMP là một yếu tố lọc hiệu suất cao được sử dụng trong quá trình đánh bóng cơ học hóa học của sản xuất bán dẫn.,Mục đích của nó là để đạt được loại bỏ vật liệu được kiểm soát và làm phẳng bề mặt trên miếng.

So với nước siêu tinh khiết hoặc lọc hóa học chung, lọc bùn CMP phức tạp hơn.và ô nhiễm mà không loại bỏ các hạt mài hữu ích cần thiết cho hiệu suất đánh bóng.

Do đó, lọc CMP không chỉ đơn giản là lựa chọn chỉ số micron nhỏ nhất. Một hộp mực lọc CMP phù hợp phải cân bằng kiểm soát hạt, ổn định bùn, hiệu suất dòng chảy, giảm áp suất,và tương thích quá trình.

Trong các quy trình CMP, phân bố kích thước hạt có liên quan chặt chẽ đến chất lượng đánh bóng.khiếm khuyết bề mặt, tốc độ loại bỏ không ổn định, hoặc mất năng suất.

Đồng thời, nếu bộ lọc quá chặt hoặc không phù hợp với bùn, nó có thể loại bỏ các hạt mài mòn hữu ích, thay đổi tính chất của bùn, làm giảm áp suất hoặc rút ngắn tuổi thọ của bộ lọc.

Các mục tiêu chính của lọc bùn CMP bao gồm:

• Loại bỏ các hạt và tập hợp quá lớn.
• Giảm nguy cơ trầy xước trong khi đánh bóng miếng.
• Duy trì sự phân bố hạt bùn ổn định.
• Bảo vệ các máy bơm, van, vòi phun và công cụ đánh bóng.
• Hỗ trợ hiệu suất đánh bóng nhất quán và ổn định quy trình.

Việc lựa chọn vật liệu lọc phụ thuộc vào hóa chất bùn, loại chất cạo, giá trị pH, các thành phần oxy hóa, tốc độ lưu lượng và yêu cầu về độ sạch.

• Các hộp mực lọc UPE thường được sử dụng trong bùn tinh khiết cao và lọc hóa học điện tử vì khả năng chiết xuất thấp, độ sạch tốt và hiệu suất giữ hạt ổn định.
• Các hộp mực lọc PP vật liệu PP cung cấp kiểm soát chi phí tốt và tương thích rộng rãi trong nhiều ứng dụng chất lỏng công nghiệp và điện tử.
• Các hộp mực lọc PEScó thể được chọn cho một số ứng dụng phân bón dựa trên nước, nơi yêu cầu hiệu suất lưu lượng tốt và hiệu quả lọc ổn định.
• Các hộp mực lọc PTFE có thể được xem xét cho môi trường hóa học đặc biệt đòi hỏi khả năng kháng hóa học mạnh hơn.

Trong các ứng dụng CMP thực tế, môi trường lọc, lớp hỗ trợ, lõi, lồng, nắp cuối và vật liệu niêm phong nên được đánh giá cùng nhau để tránh các vấn đề tương thích hoặc ô nhiễm thứ cấp.

Độ chính xác lọc bùn CMP phụ thuộc vào loại bùn và mục tiêu quá trình.Một số ứng dụng tập trung vào việc loại bỏ các hạt lớn và tập hợp, trong khi những người khác yêu cầu kiểm soát tinh tế hơn các chất gây ô nhiễm dưới micron.

Tuy nhiên, kích thước lỗ chân lông nhỏ hơn không phải lúc nào cũng tốt hơn. Nếu bộ lọc giữ lại quá nhiều hạt mài thô bình thường, nó có thể thay đổi nồng độ hạt hiệu quả của bùn và ảnh hưởng đến hiệu suất đánh bóng.Nếu bộ lọc quá mở, các hạt quá lớn có thể đi qua và làm tăng nguy cơ trầy xước.

Vì lý do này, việc lựa chọn bộ lọc CMP nên xem xét cả khả năng lọc và hành vi nhựa thực tế, bao gồm phân bố kích thước hạt, độ nhớt, tốc độ dòng chảy, giảm áp suất và tuổi thọ của bộ lọc.

Các hộp lọc CMP có thể được sử dụng ở các điểm khác nhau trong hệ thống cung cấp phân bón.

• Bộ lọc sản xuất bùn
  Sử dụng trong quá trình sản xuất hoặc chuẩn bị phân bón để loại bỏ các hạt lớn không mong muốn và cải thiện tính nhất quán của sản phẩm.
• Bộ lọc vòng phân phối
  Được sử dụng trong hệ thống lưu thông bùn để kiểm soát các hạt được tạo ra trong quá trình lưu trữ, bơm hoặc vận chuyển.
• Bộ lọc tại điểm sử dụng
  Thiết lập gần các công cụ CMP để cung cấp kiểm soát hạt cuối cùng trước khi bùn đạt đến tấm đánh bóng hoặc bề mặt wafer.
• Bộ lọc bảo vệ bên dụng cụ
  Được sử dụng để bảo vệ vòi phun, van và đường truyền khỏi tắc nghẽn gây ra bởi các chất kết hợp hoặc dư lượng quá trình.

Một hệ thống lọc được thiết kế tốt có thể sử dụng lọc theo giai đoạn để giảm tải hạt dần dần và bảo vệ các bộ lọc chính xác cao cuối cùng.

Việc lọc CMP đòi hỏi phải đánh giá cẩn thận cả hiệu suất của bộ lọc và sự ổn định của bùn.

• Vấn đề đầu tiên là kiểm soát hạt. Bộ lọc nên loại bỏ hiệu quả các hạt quá lớn và tập hợp có thể gây ra khiếm khuyết wafer.
• Vấn đề thứ hai là sự tương thích của bùn.
• Vấn đề thứ ba là giảm áp suất. Giảm áp suất quá mức có thể ảnh hưởng đến sự ổn định của việc cung cấp bùn và tăng tải hệ thống.
• Vấn đề thứ tư là khả năng tương thích hóa học. Vật liệu lọc phải phù hợp với hóa học và điều kiện hoạt động của phân bón.
• Vấn đề thứ năm là sự sạch sẽ. Các chất chiết xuất thấp, thải ra hạt thấp và sản xuất sạch rất quan trọng cho các ứng dụng bán dẫn.
• Vấn đề thứ sáu là tuổi thọ. Bộ lọc nên cung cấp hoạt động ổn định mà không bị tắc thường xuyên hoặc thay thế sớm.
• Vấn đề thứ bảy là độ tin cậy của niêm phong. Bất kỳ rò rỉ bypass nào cũng có thể làm giảm hiệu quả lọc và làm tăng nguy cơ quá trình.

Pullner cung cấp các giải pháp cartridge lọc cho lọc bùn CMP và các ứng dụng tinh khiết cao liên quan đến bán dẫn.và các vật liệu khác theo các yêu cầu quá trình khác nhau.

Pullner có thể hỗ trợ khách hàng trong việc lựa chọn các bộ lọc CMP phù hợp dựa trên loại bùn, vị trí lọc, dòng chảy, áp suất, nhiệt độ, mục tiêu kiểm soát hạt, mô hình bộ lọc hiện có, bản vẽ,hoặc các mẫu.

Đối với các khách hàng phải đối mặt với ô nhiễm hạt bùn, giảm áp suất cao, tuổi thọ bộ lọc ngắn, hiệu suất đánh bóng không ổn định hoặc nhu cầu thay thế bộ lọc nhập khẩu,Pullner có thể giúp phân tích điều kiện làm việc và đề xuất một giải pháp lọc phù hợp.

Các hộp lọc bùn CMP đóng một vai trò quan trọng trong các quy trình đánh bóng bán dẫn.nhưng cũng để duy trì sự ổn định bùn và giảm nguy cơ khiếm khuyết wafer.

Một bộ lọc CMP phù hợp nên cân bằng loại bỏ hạt, tương thích bùn, giảm áp suất, hiệu suất dòng chảy, độ sạch và tuổi thọ.

Pullner cam kết cung cấp các giải pháp hộp lọc bùn CMP đáng tin cậy, hiệu quả về chi phí và tùy chỉnh cho khách hàng bán dẫn trên toàn thế giới.