Một hộp lọc bán dẫn là một yếu tố lọc tinh khiết cao được sử dụng trong sản xuất bán dẫn và các quy trình điện tử liên quan.Bộ lọc bán dẫn được thiết kế không chỉ để loại bỏ các hạt, nhưng cũng để giảm nguy cơ ô nhiễm từ các chất chiết xuất, ion kim loại, dư lượng hữu cơ, sợi và chất thải.
Trong sản xuất bán dẫn, ngay cả các hạt rất nhỏ hoặc các chất gây ô nhiễm có thể ảnh hưởng đến năng suất wafer, độ sạch bề mặt và sự ổn định của quy trình.lọc là một phần thiết yếu của kiểm soát ô nhiễm trong hóa chất quy trình ẩm, nước siêu tinh khiết, chống ánh sáng, bùn CMP, dung môi, khí và các hệ thống tinh khiết cao khác.
Pullner cung cấp các giải pháp hộp lọc cho các ứng dụng tinh khiết cao và liên quan đến bán dẫn, giúp khách hàng lựa chọn vật liệu bộ lọc phù hợp, độ chính xác lọc, cấu trúc,và các loại kết nối theo điều kiện thực tế của quá trình.
Chọn vật liệu là một trong những yếu tố quan trọng nhất trong lọc bán dẫn. Các hóa chất, nhiệt độ, tốc độ lưu lượng và yêu cầu về độ sạch khác nhau đòi hỏi các phương tiện lọc khác nhau.
Trong nhiều hệ thống bán dẫn, các bộ lọc không được sử dụng một mình. Một thiết kế lọc hợp lý có thể kết hợp các bộ lọc trước, bộ lọc trung gian và bộ lọc cuối cùng để giảm tải hạt,bảo vệ các bộ lọc cuối cùng đắt tiền, và duy trì hiệu suất quá trình ổn định.
Độ chính xác lọc của hộp mực lọc bán dẫn thường nghiêm ngặt hơn nhiều so với lọc công nghiệp chung.Độ phân giải bộ lọc có thể dao động từ mức micron đến mức submicron, chẳng hạn như 0,45 μm, 0,2 μm, 0,1 μm, 0,05 μm, hoặc thậm chí mịn hơn.
Tuy nhiên, việc chọn một bộ lọc bán dẫn không chỉ là về việc chọn một chỉ số micron nhỏ hơn.hoặc ngắn tuổi thọMột bộ lọc quá thô có thể không cung cấp đủ kiểm soát hạt.
Các chỉ số hiệu suất quan trọng bao gồm:
Đối với các ứng dụng độ tinh khiết cao, các bộ lọc định lượng tuyệt đối thường được ưa thích vì chúng cung cấp hiệu suất giữ hạt đáng tin cậy hơn.khách hàng bán dẫn cũng có thể chú ý đến dữ liệu thử nghiệm, khả năng truy xuất, hiệu suất rửa và tương thích với các hóa chất cụ thể.
Nước siêu tinh khiết được sử dụng rộng rãi để làm sạch wafer, rửa và chuẩn bị quy trình.Vì UPW có yêu cầu vệ sinh cực kỳ cao, các vật liệu lọc phải có khả năng tách thấp và hiệu suất sạch ổn định.
Các hóa chất ẩm như axit, kiềm, dung dịch khắc, dung dịch làm sạch và dung môi cần các bộ lọc có khả năng chống hóa chất mạnh.và vật liệu UPE thường được sử dụng tùy thuộc vào loại hóa học và điều kiện hoạt động.
Mục tiêu chính là loại bỏ các hạt và ngăn ngừa ô nhiễm trong quá trình phân phối và lưu thông hóa chất.
Việc lọc quang kháng đòi hỏi phải kiểm soát hạt và gel rất cẩn thận.Các bộ lọc được sử dụng trong các ứng dụng này cần phải sạch sẽ tuyệt vời, hấp thụ thấp và giữ các hạt mịn ổn định.
Việc lọc phân bón CMP phức tạp hơn vì bản thân phân bón chứa các hạt mài có chức năng.Bộ lọc phải loại bỏ các hạt và phân tích quá lớn mà không loại bỏ các thành phần bùn hữu íchDo đó, cấu trúc bộ lọc, thiết kế lỗ chân lông và đặc điểm dòng chảy rất quan trọng.
Việc lọc khí tinh khiết cao được sử dụng để loại bỏ các hạt và bảo vệ các công cụ quy trình.PTFE và các vật liệu màng phù hợp khác thường được sử dụng trong lọc khí vì khả năng chống hóa học và giữ hạt của chúng.
Đối với khách hàng bán dẫn, bộ lọc phù hợp nhất không phải lúc nào cũng đắt nhất hoặc tốt nhất.
Khi sản xuất chất bán dẫn tiếp tục chuyển sang kích thước tính năng nhỏ hơn và tích hợp cao hơn, các yêu cầu kiểm soát ô nhiễm sẽ trở nên nghiêm ngặt hơn.Điều này tạo ra các yêu cầu kỹ thuật cao hơn cho hộp mực lọc bán dẫn.
Trong tương lai, lọc bán dẫn sẽ phát triển theo nhiều hướng.
Pullner cung cấp các giải pháp cartridge lọc cho các ứng dụng liên quan đến bán dẫn, bao gồm hóa chất tinh khiết cao, nước siêu tinh khiết, dung môi, khí, lọc trước bùn CMP,và chất lỏng quy trình điện tử.
Các vật liệu có sẵn bao gồm PTFE, PFA, UPE, PES, PP, Nylon, PVDF và các phương tiện lọc khác theo yêu cầu ứng dụng.độ chính xác lọc, tốc độ dòng chảy, áp suất hoạt động, nhiệt độ, mô hình bộ lọc hiện có, bản vẽ hoặc mẫu.
Đối với khách hàng phải đối mặt với ô nhiễm hạt, thời gian sử dụng bộ lọc ngắn, chi phí thay thế cao, thay thế bộ lọc nhập khẩu hoặc hiệu suất lọc không ổn định,Pullner có thể giúp phân tích quá trình và đề xuất một giải pháp lọc phù hợp.
Các hộp lọc bán dẫn là thành phần quan trọng trong các hệ thống sản xuất tinh khiết cao. Giá trị của chúng không chỉ giới hạn trong việc loại bỏ hạt. Chúng cũng giúp kiểm soát ô nhiễm,bảo vệ công cụ quy trình, cải thiện sự ổn định sản xuất và hỗ trợ năng suất sản phẩm.
Khi lựa chọn bộ lọc bán dẫn, khách hàng nên xem xét phương tiện lọc, xếp hạng micron, khả năng tương thích hóa học, độ sạch, giảm áp suất, tuổi thọ và thiết kế hệ thống cùng nhau.
Pullner cam kết cung cấp các giải pháp hộp lọc bán dẫn đáng tin cậy, hiệu quả về chi phí và tùy chỉnh cho khách hàng toàn cầu.
Để tìm hiểu thêm về hộp mực lọc bán dẫn Pullner và các giải pháp lọc độ tinh khiết cao, vui lòng truy cậpwww.pullnerfilter.com.
Người liên hệ: Miss. Lucy
Tel: 86-21-57718597
Fax: 86-021-57711314
Vietnamese
